Системы подачи технологических газов

Системы подачи технологических газов: проектирование и изготовление

ЗАО «Тринитри» осуществляет разработку и изготовление газовых систем. Нами накоплен большой опыт проектирования, сборки и экcплуатации систем подачи сверхчистых газов для установок химического осаждения из газовой фазы, установок сухого травления, газовых лазеров и иного технологического и лабораторного оборудования.

Для соединения труб и фитингов используется автоматическая аргонодуговая орбитальная сварка.

Для размещения заказа обращайтесь order@trinitri.ru

Образцы продукции:

Газовая система установки хлорид-гидридной газофазной эпитаксии (HVPE)

Газораспределительная панель

  • панель выполнена в коррозионно-стойком исполнении, использованы трубы и арматура из нержавеющей стали 316L с электрохимической полировкой, для разъемных соединений использованы фитинги VCR 1/4" с никелевыми прокладками.
  • подаваемые газы - азот, водород, хлороводород, аммиак, силан.
  • количество выходных каналов - 8
  • для соединения труб и компонентов использованы сварные соединения Micro-Fit компании Swagelok
  • управление клапанами - пневматическое, с использованием компонентов компании SMC.
  • Управление MFC - цифровое DeviceNet

Панель регулировки давления

  • Количество газовых магистралей - 5
  • подаваемые газы - азот, водород, хлороводород, аммиак, силан

Газовая панель для газобаллонного шкафа

Для подачи сверхчистых и/или токсичных газов.

Осуществляет :

  • редуцирование давления
  • доочистку газа
  • продувку газовой линии нейтральным газом
  • контроль давления в баллоне и в газовой магистрали
  • автоматическое перекрытие подачи газа в случае утечки

Панель автоматики для управления газовой системой

  • Управление электропневматическими клапанами
  • Управление цифровыми MFC (DeviceNet)